多晶硅石英坩堝的使用注意
半導(dǎo)體級高純多晶硅石英坩堝是拉制大直徑單晶硅的消耗性器皿,每生產(chǎn)一爐單晶硅就用掉一只坩堝。單晶硅是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料,對坩堝的要求十分苛刻。一般國際上對多晶硅石英坩堝的要求:材質(zhì)需要是高純度半導(dǎo)體級;耐高溫性強;坩堝的尺寸大;精度高;保溫性能好;節(jié)約能源;產(chǎn)品質(zhì)量一致性好;穩(wěn)定性高等特點。多晶硅石英坩堝在使用時應(yīng)注意兩點:
1、多晶硅石英坩堝可在1700度以下灼燒,但灼燒溫度高于1100度石英會變成不透明,因此熔融溫度不應(yīng)超過800度。
2、不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
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